第5章 ミクロレーザープロセシング

7. 液晶表示装置 液晶表示装置リペア

著者:鳥越 俊宏

1. はじめに

 近年、平面ディスプレイとして液晶表示装置(以下LCD、Liquid Crystal Display)が広範囲に普及してきた。最近では50インチ超の大画面化や線幅2μm以下の高精細化、CRTと変わらぬ高輝度化、180°に近い高視野角化など用途拡大にむけて製品技術開発が進められている。一方、テレビやPCのモニタ用のしCDは、1パネルに400万個近い液晶の駆動素子が実装されており、それらに不良箇所があり動作に支障をきたすと表示器としての品質を損なうことになる。これまで製造過程で生じた不良箇所を効果的に救済する手段としてレーザーを用いた欠陥修正技術が開発され、LCD製造の各工程に導入され歩留向上に効果をあげてきている。ここでは、現在普及しているTFT-LCDの事例を中心にレーザーリペアの概要について説明する。
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