第３章 プロセス（加工）装置

2. プロセス（加工）用レーザー

7. Qスイッチ発振固体レーザー

著者：工藤 秀悦

目次

7.1 はじめに

　固体レーザーの発振を制御して高出力パルス光を得る手段として、Qスイッチ法がある。固体レーザーは、上準位寿命が長いため励起エネルギーの蓄積が可能で、Qスイッチによりジャイアントパルスと呼ばれる高ピークパワーの短パルスを発生させることができ、レーザー加工の分野で広く用いられている。
　連続（Continuous-wave、CW）発振での出力が数W程度の固体レーザーをQスイッチ動作させることにより、薄膜のトリミングなどのレーザーマイクロ加工に十分使用可能なピークパワーが得られる。また、パルス励起の固体レーザーをQスイッチ動作させることで、穴あけなどのより高いピークパワーを必要とする加工への応用も可能である。本項では、Qスイッチの動作原理と、Qスイッチ発振固体レーザーの装置例等について述べる。
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