【TI 社が開発した MEMS 型可変鏡】
SLM には液晶だけでなく、Texas Instrument TI 社が開発した MEMS 型のデバイスもある。
映像プロジェクターなどへの応用では、マイクロミラーを傾ける形のものもあるが、MEMS 技術によって図のようにミラー表面を平行移動させて光の空間位相を制御することもできる。このような MEMS 型の空間変調器は開発された当初、優れたデバイスとして期待され、液晶プロジェクターを凌駕すると考えられたが、その後の液晶技術の進歩が欠点を解消し、何よりも低価格で大量に提供されたことでいまでは液晶型の方が支配的のようだ。
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