下順位の存在しないエキシマレーザー

【下順位の存在しないエキシマレーザー】
急速放電で上順位を作れば、短い時間でも反転分布ができる。この考えをさらに発展させたものがエキシマレーザーです。下順位が反発的ポテンシャルで本質的に存在しないエキシマの場合、急速励起で形成されたエキシマはたとえば２nsという短い寿命で光を放出して崩壊しますが、下順位が存在しないので、上順位に励起された分は100%光学遷移に寄与します。だからたとえば248nmという短波長にもかかわらず、高効率発振ができるので、半導体リソグラフィーなどの重要な光源となりました。ここでは、エネルギーを貯めるのはコンデンサ、エネルギーを注入するのは高速放電、そして、エネルギーを放出するのは、短寿命のエキシマというベストマッチな組み合わせが実現しました。