【超音波洗浄】
超音波洗浄は光学素子全般を洗浄するため用いられており、 実際、大型レーザー光学系の洗浄も、クリーンルーム内で超純水洗浄が使われています。超音波洗浄機に漬けて超音波をかけ、光学素子全体を洗浄することがありますが、
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