【電子ビーム蒸着か、スパッタリングか】

【電子ビーム蒸着か、スパッタリングか】

  最初にことわっておくが、筆者の経験から来る知識ではこの部分の情報は古くて、現在では変わっているかも知れない。1980年代の考えである。その頃の考えとしては、電子ビーム蒸着の方がスパッタリング膜よりレーザー損傷に強いと考えられていた。そしてその差はパッキング密度の差として説明されていた。当時はイオンアシストもなかったので 電子ビーム蒸着膜は文字通り、ふわっと形成されていて、パッキング密度はスパッタリング膜に比べて低いのが普通であった。それがかえってレーザー損傷には有利に働くと受け取られていた。