フェムト秒レーザーでの加工技術は、従来のレーザー加工と比べ、原子の熱振動よりも短い時間で結合を切るため熱が発生しない。そのため、周りに熱的な変形を生じさせることなく精密微細加工が可能となる。フェムト秒レーザー加工は加工に時間がかかるため、大量生産に向いていないと言われていたが、光空間変調器の開発が進み、大面積に一括で転写・加工が可能となった。現在は、ハイスループット化への道が開けつつあり、少量生産・試作加工向けではない展開が期待ができる。

微細加工におけるフェムト秒レーザー加工の位置づけ

東レリサーチセンター「ナノ加工・サブミクロン加工の最先端動向(’00年発行)」を参考に作製。

出典:並木精密宝石株式会社 Namiki Precision Jewel Co.,Ltd

フェムト秒レーザー加工の特徴

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