フェムト秒レーザーを用いて、石英ガラスやサファイア等の透明材料への精密微細加工が可能である。

通常、波長800nmの近赤外光はサファイアや石英ガラスなどの材料を透過するが、この波長のフェムト秒レーザーを材料内部に集光すると、焦点付近の材料だけに屈折率変化を発生させる。また、焦点を表面にすると、材料表面のアブレーションが可能である。これらの特徴を使えば、三次元微細構造や微小光学素子を材料の表面や内部に形成することができる。

Auナノ粒子のサイズ制御による着色

ガラス内部に3次元構造を作成した例。ガラス中のAuナノ粒子の大きさによって着色が異なることを利用した。

Auナノ粒子のサイズ制御による着色

Auナノ粒子のサイズ制御による着色
(引用:京都大学 三浦研究室)

微細穴加工

特徴

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