エキシマレーザーとは電子励起状態の原子または多原子と、基底状態の原子または多原子が強く結合した分子であるエキシマ(Excited Dimer を略してExcimer)を発振媒質とする紫外域(UV) パルス発振レーザーである[1]。エキシマは高圧(最大4 気圧程度) の希ガス(Ar、Kr、Xe) とハロゲン(F、Cl、Br、I) の混合気体に放電励起することで得られる[2]。発振波長は希ガスとハロゲンの組み合わせで変化する。現在市販されているエキシマレーザーの媒質と発振線を表1 に示す。一般的なエキシマレーザーのパルス幅は～30ns、繰返し周波数は～300Hzである[3-6]。
表１：エキシマレーザーの媒質と波長。各希ガスとハロゲンが重なったセルが、その混合気体から発振する波長。( )内は自然光を表す。
| F | Cl | Br | I | |
|---|---|---|---|---|
| Xe | 351.1
353.1 486 |
308 | 281.8 | (254) |
| Kr | 248.5 | 221.1 | (203) | (185) |
| Ar | 193.2 | 175.0 | (161) | |
| Ne | (107) |
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