エキシマレーザーとは電子励起状態の原子または多原子と、基底状態の原子または多原子が強く結合した分子であるエキシマ(Excited Dimer を略してExcimer)を発振媒質とする紫外域(UV) パルス発振レーザーである[1]。エキシマは高圧(最大4 気圧程度) の希ガス(Ar、Kr、Xe) とハロゲン(F、Cl、Br、I) の混合気体に放電励起することで得られる[2]。発振波長は希ガスとハロゲンの組み合わせで変化する。現在市販されているエキシマレーザーの媒質と発振線を表1 に示す。一般的なエキシマレーザーのパルス幅は~30ns、繰返し周波数は~300Hzである[3-6]。

表1:エキシマレーザーの媒質と波長。各希ガスとハロゲンが重なったセルが、その混合気体から発振する波長。( )内は自然光を表す。

F Cl Br I
Xe 351.1

353.1

486

308 281.8 (254)
Kr 248.5 221.1 (203) (185)
Ar 193.2 175.0 (161)
Ne (107)

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