ビームホモジナイザとは?

特定形状(円形・矩形・ライン状など)の均一な光強度分布のレーザービームをつくる光学素子です。通常のレーザービームのビームプロファイルは、ビーム中心の強度が高いガウシアン分布であり、中央部が強く周辺部が弱い不均一な強度分布になっています(図)。このようなレーザービームを用いてレーザー加工を行った場合、ビーム中央部だけ加工され、周辺部は加工されないなど加工精度上望ましくない現象が発生します。ビームホモジナイザを用いて均一な光強度分布のビームプロファイルに変換することで、レーザー加工に適したレーザービームを得ることができます。

ビームホモジナイザには、

・単レンズをアレイ状に並べたフライアイレンズを用いる方式

非球面レンズを用いる方式

回折光学素子(DOE、Diffractive Optical Elements)を用いる方式

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