リソグラフィー(lithography)とは

美術の世界ではリトグラフとも呼ばれ，もともとは石版画を意味する言葉である．ギリシャ語の石を意味するリトス(lithos)から名づけられた．現在のエレクトロニクスにおいては半導体ウェーハの上に塗布されたレジストにLSIのパターンを焼き付ける技術をいう．半導体におけるリソグラフィー技術の中で，現在の主流は光を用いてマスクパターンをウェーハ上に転写するフォトリソグラフィーである．LSIの微細化・高集積化とともにリソグラフィー技術は量産性を有しながら精密性，微細性に優れたものが要求される．そこで将来は光に代わってより波長の短い紫外線や電子ビーム，あるいはX線を用いて，より微細なパターンをウェハ上に描こうという研究が世界でなされている．→光リソグラフィー，EUVリソグラフィー