マイクロマシニング(micromachining)とは

旋盤,フライス盤,ボール盤などの機械加工では加工することのできない,1 mm程度以下の大きさの機械部品の加工を意味する.普通の切削加工でこのような微小な機械部品の加工は困難であるため,微細な刃物を高速で回転させたり,高い周波数で振動させたりしながら加工する手法がある.切削加工以外にも,光造形法,放電加工法,レーザー旋盤加工法などが有力な加工法である.前述した手法は,個々の機械部品を1個ずつ成形する手法であるが,半導体プロセス技術におけるリソグラフィーの技術を用いてマイクロ歯車に代表される微小機械部品を大量に生産する技術(Iithograife,gelvanoformung,abformung,LlGAプロセス)も実用化されている.