希ガスエキシマ(rare gas excimer)とは

エキシマとは励起状態の原子1個と基底状態の同種の原子1個を結合させた励起状態でのみ存在する分子，excited dimerのことをいう．このうち希ガスで構成された，He₂^*，Ne₂^*，Ar₂^*，Kr₂^*およびXe₂^*を希ガスエキシマと呼ぶ．希ガスエキシマからの発光は真空紫外波長であり，基底状態のすぐ上にあるエキシマ状態から解離的ポテンシャル曲線の基底状態への遷移であるため10 nmから20 nmの広いスペクトル幅を持つうえ，真空紫外の発光にもかかわらず，理論的量子効率は数十％にも達し，実験的にも20％近くの発光効率が達成されている．レーザー発援は電子ビーム励起においてのみ達成されている．一般的によく知られているArF，KrFおよびXeClレーザーなどのように，希ガス原子とハロゲン原子のように異種原子によって構成されるエキシマは，従来エキンマイプレックスと呼ばれエキシマと区別されていたが，最近ではこれらもエキシマレーザーと呼ばれるようになった．→エキシマレーザー，希ガスハライドエキシマレーザー