in situレーザー計調(insitu measurement with laser)とは

生産プロセスなどにおいて，被測定対象をラインやプロセスから取り出すことなく，ありのままの状態で計測する手法の名称である．レーザーによる計測は，非接触が基本であるためにin situの方法に適している．具体的には，吸光分光による気体や液体の不純物測定，エリプソメトリによる薄肢の測定，干渉方法を利用した測長器などがある．いずれの手法も当初，研究室内で利用する機器に採用されていたが，光源や光検出器の技術進歩から，環境の悪いところでも利用できるようになった．少しニュアンスは異なるが，関連した言葉としてプロセス分野のin line，機械加工でのon machine，生体分野のin vivoなどがある．