イン/オンラインプロセスモニタリング(in/on-line process monitoring)とは

製造プロセスを監視するプロセス監視方式を，分析機器と製造ラインの位置関係によってオフライン(off line)，アトライン(at line)，オンライン(on line)，インライン(inline)に分類できる．この中でオフ/アトラインは，いずれも製造ラインから試料をサンプリングし分析機器に入手を介して持ち運び分析をおこなう方式であり，分析機器が製造ラインから遠隔している場合をオフライン，近接している場合をアトラインと呼ぶ．オンラインはアトラインと近似しているが，入手を介すことなく自動的にサンプリングをおこなう方式である．一方，インラインは製造ラインの中にセンサを組み込みサンプリングすることなくin situで分析する方式であり，したがって基本的に非破壊分析でなくてはならない．迅速性，リアルタイム性の観点からインライン方式が製造プロセス監視方式としては最も望ましい方式である．現在，光を利用した分光分析が各種製造プロセスにおいて注目されている．