これまでのまとめ

【これまでのまとめ】
 ここまで 1980 年台に核融合用 KrF レーザーの開発に関係した 248nm 用高耐力ミラーの 開発、中でも誘電体多層膜の高耐力化の歩みを紹介してきました。それをまとめた図が右 の図です。確かに UV 光学系の損傷強度は急速に進歩し、米国を凌駕しました。そして、その流れは無反射コーティングにも引き継がれたし、薄膜技術を使って、大口径 KrF レーザー用の偏光子として斜入射型の薄膜偏光子も開発されました。一つ技術が進むと、世界で誰もやっていないことが可能になるという例を実感しました。