明確なアニーリング効果を確認した

【明確なアニーリング効果を確認した】
 そこで、アニーリング効果を詳細に検討し、確証するための実験を行なった。ここには HfO2 と Na3AlF6の 2 種類の単層膜のデータを示します。
 いずれも低強度照射から光強度照射に向けて光音響信号を検出してプロットすると、1 回目は直線的に PA 信号が増加しました。それを一旦中止して、同じ条件で 2 回目、3 回目と繰り返しレー ザー強度を上げながら、PA 信号特性を取りました。そうすると、PA 信号が飽和し、逆に 減少した後、レーザー損傷が発生して PA 信号は飛び上がります。損傷する以前の実験中に薄膜の質が変化したことが分かります。