【高強度多重ショット照射による PAS 信号のばらつき】
 単層誘電体膜の高強度多重ショットで PAS 信号にばらつきが生じることを確認した。これは薄膜状態に変化が生じていることを示している。同時に、右図に示したように、これらの変化はフッ化物と酸化物ではその影響がPAS 信号が大きくなる方向と減少する逆の方向に働いていることも分かりました。Sc2O3薄膜では PAS 信号自身が飽和する傾向が見えていましたが、それはばらつきが拡大し、

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