【フッ化物ペアの光学薄膜の開発に成功】
まずは前回までの復習をしよう。1982 年から始まった KrF レーザー用光学薄膜の開発は右のように当初は0.6J/cm2 とレーザー 発振が起こるとミラーが損傷するレベルから始まり、薄膜吸収係数を測定しながら、
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