【単層膜の微小吸収計測】
光音響計測では一回のレーザー照射で薄膜の吸収係数を確定するわけではありません。照射するレーザーの強度を徐々に増加させて行き、その PAS 信号を記録して、右図のようにプロットすると、薄膜の PAS 信号は入力レーザーエネルギーに比例した直線となる。そして、ZrO2 から Al2O3 と材料を変化させていくと、どれも傾きが異なる完全な直線関係を示します。吸収係数が大きい場合はこの傾きが大きいことは理解できます。つまり、この計測だけでは材料間の吸収係数の比率が決定されるだけです。
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