実際に用いた計測システム

【実際に用いた計測システム】
 実際に用いた計測システムは右のように簡単なものでした。化学実験用のスタンドに 2本の腕を取り付け、PZT を取り付けたパイプを一定圧力をかけるようにスプリングでアルミ製の伝送路に押しつけます。こちら側の接水触面には真空グリースを付けてインピーダンス整合を取ります。伝送路の他端にはサンプルを保持するくぼみを作り、レーザー光を照射する中心部は開口となっていて、KrF レーザー光は突き抜ける構造となっています。サンプルを置くときは、伝送路との間にイオン交換水でインピーダンス整合すると共に、蒸着膜表面が汚染しないように注意します。