1960 年代の真空蒸着装置

【1960 年代の真空蒸着装置】
1968年、卒業研究を開始したとき、レーザー用のミラーは図のような真空蒸着装置で学生が自分で作っていました。当時、走査型電子顕微鏡のための蒸着装置が簡便で安かったので、どこでもJEOL製のものを使っていました。ニコンが販売していた光学基板を洗浄して、真ん中のような真空ベルジャーの中に配置し、上図右のようなタングステンまたはタンタル製のバスケット状のフィラメントに田中貴金属製の金線を入れて、蒸着します。タングステンが白熱すると金線はたちまち液状に丸まり、ベルジャー内に金蒸気として広がり、基板上に金の薄膜が形成されます。もちろん、同時にベルジャーの内面は徐々に黒くなっていきます。だんだん黒くなっていくガラスベルジャーの中で赤く光るタングステンフィラメントを見ながら蒸着したことを思い出します。