【米国ロスアラモス研究所による体系的研究】
KrF レーザーの研究で我々のライバルであった米国ロスアラモス研究所でも 248nm 用 個耐力ミラーの開発に取り組んでおり、薄膜材料の網羅的な検討を行なっていた。図は 3年間の研究の結果、米国の KrF レーザー用ミラーの損傷耐力がどのように向上したかを示 している。米国も研究に着手した当初は非常に低い損傷強度の多層膜があり、3 年間かけて蒸着技術を改良しながら着実に高耐力化を達成したことが示されている。
無料ユーザー登録
続きを読むにはユーザー登録が必要です。
登録することで3000以上ある記事全てを無料でご覧頂けます。
登録することで3000以上ある記事全てを無料でご覧頂けます。
- @optipedia.info ドメインより登録の手続きを行うためのメールをお送りします。受信拒否設定をされている場合は、あらかじめ解除をお願いします。
- Gmailをお使いの方でメールが届かない場合は、Google Drive、Gmail、Googleフォトで保存容量が上限に達しているとメールの受信ができなくなります。空き容量をご確認ください。