【自身が経験してきた蒸着技術】
筆者自身が経験してきた序着技術を簡単に紹介しておきます。右図のように阪大山中研時代に自分でやった抵抗加熱蒸着、電通大時代に昭和光機(後の昭和オプトロニクス)と協力した電子ビーム蒸着、重力波研究時代、日本航空電子と協力したイオンビームスパッタリング法(IBS 蒸着)等です。これらは蒸着材料が基板に衝突する際のエネルギーが徐々に高くなっていく技術でもありました。
もっとも単純な蒸着の図式は右のようなものです。
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