薄膜形成技術

 高出力レーザーにとっての光学素子、中でも光学薄膜の重要性について考察する。なぜなら光学素子の損傷強度は高出力レーザーの限界を決める要素だからである。そして、屈折率の高い物質から空気に入る表面の損傷強度は電界が加算されるので、バルクの内部損傷強度より必ず低い。結局、表面を形成する誘電体多層膜の損傷強度は鍵となる技術である。

【薄膜形成技術】

 光学薄膜の形成技術を分類すると右のようになります。大きく分けると気相成長と液相成長です。歴史的に古い液相成長はメッキと塗布ですが、これらは1層の膜を付けるのは簡単ですが、光の波長以下の薄膜やそれらの多層膜を形成するのは困難です。光学薄膜に利用できる液相成長技術はゾルゲル法で、基板との表面張力を使用する引き上げ法で厚さを制御します。