【半導体技術を応用した MEMS シリコン可変鏡】
そんな風に考えていた 1998 年、スタンフォード大学の Byer と Mansell は微細加工技術を使ったシリコン可変鏡（厚さ 30 ミクロン、口径 1cm）を発表しました。彼らはこれを使って F=4000 のリング共振器を作りました。そして、Mansell は会社を作り LIGO 計画に参画しました。MEMS 型シリコンミラーです。この図に見るように、電極数が 7 つなので、低い空間周波数しか補正できないので、簡単でラフな曲率調整に限定しているように見えます。彼らはたぶん、
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