光の波面を基準としたミラー曲率計測法

【光の波面を基準としたミラー曲率計測法】

　 通常、ミラーの曲率半径などを計測しようとすると、曲率半径の分かった基準面を持ってきて、それからの差を測定することが多い。研磨という工程も同様に基準面をコピーする形でミラーの曲面を形成する。一方、ファイバー光学系が進歩することによって、単一モードファイバーの出力は点光源となり、その広がってゆく光の波面は完全球面だということを利用するポイント光源干渉計が高精度な球面計測法として開発された。ここではそれとは異なるレーザーの横モードを利用した曲率計測法を紹介しよう。