シリコン・ウェハーによるアダプティブミラーの研究を通じて考えたこと

【シリコン・ウェハーによるアダプティブミラーの研究を通じて考えたこと】
 シリコンミラーの研究を通じて考えたことをまとめてみよう。最初は、Chetkin が開発した磁歪アクチュエータと熱変形アクチュエータを比較したが、結局、応答速度のことを考えて、薄膜ミラーの機械的圧力変形が、単純だが合理的だと分かってきた。それを進める形で半導体製造技術の進歩を取り込んだ形の可変鏡モジュールを考案した。この方式のキーポイントは、熱伝導がガラスの 150 倍も大きいシリコンは、高出力レーザーに適していること、化学エッチングなどが利用できるので精密な厚さ制御、レーザートリミングなどで機械的変形制御が可能になることです。さらにシリコンは全反射鏡なので、液体による背面冷却方式が可能で冷却効率が高い、などが考えられる。