超平滑研磨(super-smooth polishing)とは

短波長光用などの高精度な光学素子の超平滑な光学面を創成する研磨法．たとえば，EUVリソグラフィー用の軟X線多層膜鏡では空間波長1 μm以下において0.1 nmrmsという表面粗さが必要とされる．このような超平滑面が得られる研磨法としては，ブロート研磨，EEM(elastic emission machining)．そしてピッチ研磨工具を用いたポールフィード研磨などが知られている．平面や球面など，従来のピッチ研磨工具で対応可能な形状は超平滑研磨しやすく，石英ガラスの平面では空間波長1~330 μmにおいて0.06 nmrmsが得られている．今後は，このような超平滑面を高精度な自由曲面上で実現することが課題である．