格子制御(lattice control)とは

ヘテロエピタキシャル成長において，両者に格子定数差があり臨界膜厚以上成長した場合，そのヘテロ接合界面にミスフィット転位が発生するようになる．転位の存在は，特に発光デバイスにおいて特性や信頼性に悪影響を及ぼすため，極力除外されることが望ましい．このため，格子定数差がない材料の組合せ(3,4元混晶)，でヘテロ接合を形成するか，絡子定数差がある場合には臨界膜時以内で成長し格子をひずませるか，界面で組成を徐々に(グレーデッドに)，変化させ転位密度を減少させるなどの格子制御がなされている．