希ガスハライドエキシマレーザー(raregas halide excimer laser)とは

希ガス(Ar，Kr，Xe)とハロゲン(F，Cl，Br)が励起状態で結合したエキシマを用いるレーザーで，各種エキシマ中，最も高い効率が得られる．放電励起による発振が可能なため，通常エキシマレーザーといえばこの種のものをさすことが多い．市販されているのも，いまのところこのタイプのみである．なかでもArF(発振波長193 nm)，KrF(248.5 nm)，XeCl(308 nm)，XeF(353，351 nm)の4種のエキシマが実用性が高い．これらは横形の放電管で高気圧(~2気圧)，高電圧(~20 kV)，大電流(~10 kA)のパルス放電励起により速い繰返しで高効率の発振が可能である．エキシマは励起状態あるいはイオン化された希ガス原子とハロゲンとの反応によって生成され，紫外域で4％台の高い発振効率を得ることができる．→エキシマレーザー