一括ガラス加工技術は、フェムト秒レーザー光をホログラムに当てることにより、ガラスの内部に3次元デバイスを一括して形成する技術である。
この一括加工技術では、加工時間が従来の1万分の1以下になるほか、加工精度も10分の1と飛躍的に改善される。加工対象となる材料は、シリコン、化合物半導体、プラスチックなど幅広く、MEMSによる加工やナノインプリントなど幅広い分野で力を発揮することが期待される。
References and Links
- フェムト秒レーザーを使った一括ガラス加工技術(DIGINFO TV)
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