レーザー顕微鏡の歴史は下記のようになっている。
- 1957 共焦点レーザー顕微鏡(M.Minsky)：論文は無く、特許のみ取得）
- 1974 第2高調波発生顕微鏡(R.Hellwarth)：最初の非線形顕微鏡
- 1982 コヒーレント反ストークスラマン散乱顕微鏡(M.D.Duncan)
- 1990 ２光子励起蛍光顕微鏡(W.Denk)：バイオでよく用いられている
- 1997 第３高調波発生顕微鏡(Y.Barad)
- 2006 誘導パラメトリック発光顕微鏡(K.Isobe)：現在まだ実用例は示せていない。
- 2008 誘導ラマン散乱顕微鏡(C.W.Freudiger)：ラマン散乱を高感度に撮ることができる。
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