最先端・光・レーザーニュース Vol.695「全反射法を利用した、新しい量子赤外分光装置を実現」など

    弊社の超高精密フェムト秒レーザー加工機を使用した、微細加工技術の特設ページを公開しています。
    微細穴や微細溝、薄膜除去などフェムト秒レーザーの得意とする、分子乖離・コールドアブレーションの
    加工事例をご覧いただけます。

    今回、パワーデバイス半導体用材料として注目を集めている炭化ケイ素（SiC）基板に対し、
    基板内部の中央部（約0.17 mm）に改質層を形成させるスライス加工の事例を追加いたしました。
    加工の模様を動画にてご覧下さい。

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