プレーナ導波路を伝搬する光にはTEモードとTMモードが存在する。さらにTEモードにおいて、導波路内を伝搬するTE導波モードとTE放射モードが存在する事が知られており、これらのモードは伝搬定数βによって決まる。
導波モードは光がプレーナ導波路内を全反射しながら伝搬するモードである。実際には導波路の外に僅かに光が染み出しており、その染み出し深さをエバネッセント波深さ、その染み出しによる位相の変化をグースヘンヒェンシフトという。上の画像は導波モードの伝搬概要図である。
放射モードはさらに基板-空気放射モードと基板放射モードに分類できる。基板-空気放射モードは導波路外から導波路内に入った光の一部は光の入射方向から逆の方向へと透過し、一部は導波路内で反射されるモードである。上の画像は基板-空気放射モードの伝搬概要図である。
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