光パワーメータの種類と測定時における注意点

光パワーメータは光のパワーを測定するための機器であり、測定方式によっていくつかの種類がある。また、正しい値を得るためには光パワーメータの特性を正しく理解しなければならない。
ここでは、光パワーメータの種類と測定時における注意点を解説する。

目次

光パワーメータの種類
ビームのパワー測定における注意点

光パワーメータの種類

光パワーメータは、光を受けて電気信号を出力するセンサと出力読み出しのための電子回路系（表示器等）で構成される。センサには、フォトダイオード、サーモパイル、パイロエレクトリックがある。

フォトダイオードセンサ

フォトダイオードセンサは、光電検出器を用いて 入射光子数に比例した 電気信号を測定（光電変換）する。感度が波長に依存するので、単色光源もしくは単色に近い光源とお使いいただける設計となっている。 このセンサから出力される電流は、入射光パワーと波長によって決まる。下記のような特徴がある。

• 高感度（微弱光の測定が可能）
• 高速応答性
• 波長域が狭い（Si:200-1100nm、Ge：700-1800nm、InGaAs：800-1700nm）
• 波長感度差が大きい
• 入射角依存性がある

Thorlabs社製フォトダイオードパワーセンサ（モデル：S122C）