高い安定性と信頼性を併せ持った深紫外レーザシステム

高い安定性と信頼性のある深紫外CW266nmレーザシステム

独トプティカフォトニクス社の産業用グレードのＣＷ TopWave深紫外レーザシステムは波長266nmにおいて150mWを出力する高い安定性と信頼性を併せ持ったレーザシステムである。高調波キャビティを含んだ完全なUVレーザ光源として特別なシールドを施し顧客へ納入される。産業用途に最適な完全自動クリスタルシフターを内蔵し10,000時間以上の長寿命を実現しており、シールドされたレーザヘッドにはビーム品質（TEM00、M²<1.3）を提供可能にするビームシェーピング最適化機能が含まれている。クリーンルーム環境で使用されない顧客へは、出射口からの汚染を防ぐためパージラインへ直接接続するインタフェースの提供も行っている。

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出典元
https://ex-press.jp/wp-content/uploads/2017/05/LFWJ1705_vendor_focus.pdf