THz波発生・検出から解析までをシステム化した装置で、THz波発生・検出器が装置と一体になっているタイプと分離しているタイプがある。

THz波発生・検出器が一体となっているタイプ

レーザー、THz波発生・検出部が一体となった装置では、様々な試料を計測できるように測定モジュールを選択できる。測定モジュールは、下記のような種類がある。

• 透過型: 吸収の少ない試料では、透過計測できる。
• 反射型: 試料が薄膜の状態の場合に適している。厚さや密度分布の測定ができる。
• 減衰全反射(ATR)型: 吸収の大きい試料や、粉体、液状や湿っている試料の測定ができる。

計測された分光スペクトルデータは、PCで指紋スペクトルと呼ばれる物質固有の分光吸収スペクトルのデータベースと照合され、物質の特定がなされる。解析部や解析ソフトが一体となったハンディータイプの計測装置もある。

発生・検出器が分離しているタイプ

ファイバーレーザー等のファイバー出力型フェムト秒レーザーを内蔵した測定ユニットとTHz波発生・検出モジュールが分離されており、光ファイバーで接続する。THz波発生部と検出部が分離しているので、光学系を自由に設計することができるという利点がある。THz波発生モジュールの取り替えで発生周波数帯を変更できるシステムもある。