光学部品や高性能なレーザー光源、エレクトロニクス技術などの発展に伴い、光干渉を用いた超高精度な長さ計測法が一般的になった。実際に、光学部品、エレクトロニクス素子などにおいて、収差計測や表面粗さ計測などに用いられている。干渉計測では、被測定物に照射した光と参照面に照射した光を干渉させ、その干渉縞を見る。干渉縞の縞間隔は、被測定物表面の凹凸や屈折率などによって変化し、光軸方向における波長1つ分の位置変化を表す。このため、干渉パターンを見ることでnm オーダーの精度で面形状の計測が可能となる。
このような波面計測技術は、レンズの曲率測定、面精度測定、屈折率分布測定、角度測定から非球面形状の測定まで、様々な表面形状測定に用いられている。ここでは、位相シフト法を組み合わせたフィゾー型干渉計を例に取って波面計測技術を紹介する。また、その他手法として、波長シフト干渉法やフーリエ変換位相干渉法、走査型白色干渉計を簡単に紹介する。

目次

  • 1. フィゾー型干渉計
  • 2. 位相シフト干渉計による波面計測
  • 3. その他の干渉計測技術

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