サンプル光学系の設計パラメータ

図1:サンプル光学系の設計パラメータ

サンプルに集光した照射面からの反射光の検出強度を以下の式のように表現する。

サンプルに集光した照射面からの反射光の検出強度

ここで、 J1(v)は1次の第一種ベッセル関数で、 ν は規格化横方向範囲パラメータで以下の式であらわされる。

規格化横方向範囲パラメータ

ここで、xは光軸からの横方向距離であり、αは対物レンズによって制限された光の開口角の半値である。λ0は光源の中心波長である。ここで注目するのは、対物レンズのNAは以下の式であらわされる。

対物レンズのNA

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