透過型電子顕微鏡 ( Transmission Electron Microscope:TEM ) は電子顕微鏡の一種で、薄片化した試料に電子線を入射させ、透過した電子や散乱された電子を目的に応じて選択しその像を観察する顕微鏡である。サブnm の空間分解能を有することから格子欠陥や結晶構造の直接観察に用いられる。電子は試料を透過する必要があるため、試料は収束イオンビームやイオンミリングを用いて観察希望箇所を100 nm 以下に薄くしなければならない。図1 はTEM の概念図である。

透過型電子顕微鏡の概念図

図1:透過型電子顕微鏡の概念図

無料ユーザー登録

続きを読むにはユーザー登録が必要です。
登録することで3000以上ある記事全てを無料でご覧頂けます。
ログインパスワードをメールにてお送りします。 間違ったメールアドレスで登録された場合は、改めてご登録していただくかお問い合わせフォームよりお問い合わせください。

既存ユーザのログイン
   
新規ユーザー登録
*必須項目