| パルス幅 | 3.3 ns | 80 ps | 200 fs |
|---|---|---|---|
| 波長 | 780 nm | 780 nm | 780 nm |
| パルスエネルギー | 1 mJ | 900 uJ | 120 uJ |
| フルーエンス | 4.2 J/cm 2 | 3.7 J/cm 2 | 0.5 J/cm 2 |
| SEM画像 |
 (a)  (b)  (c) |
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フルーエンスは、単位面積あたりのエネルギーで、パルスエネルギーを面積で割ったものである。
ナノ秒レーザーでは、レーザー光による熱が加工部から周辺に伝わる。フェムト秒レーザーでは、熱が伝わる前に分子の結合を切る事ができるため、加工した場所とそうでない場所の境界がくっきりしている。図のピコ秒レーザーは、ナノ秒レーザーとフェムト秒レーザーの中間であるが、10〜数psではフェムト秒レーザーと同レベルの加工ができることが分かっている。ピコ秒レーザーは、フェムト秒レーザーと比べて安定であるため、現在注目されている。
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