レーザーのパルス幅と加工面
パルス幅 3.3 ns 80 ps 200 fs
波長 780 nm 780 nm 780 nm
パルスエネルギー 1 mJ 900 uJ 120 uJ
フルーエンス 4.2 J/cm 2 3.7 J/cm 2 0.5 J/cm 2
SEM画像

(a)

(b)

(c)
(a)ナノ秒レーザーによる加工、(b) ピコ秒レーザーによる加工、(c) フェムト秒レーザーによる加工[1]

フルーエンスは、単位面積あたりのエネルギーで、パルスエネルギーを面積で割ったものである。

ナノ秒レーザーでは、レーザー光による熱が加工部から周辺に伝わる。フェムト秒レーザーでは、熱が伝わる前に分子の結合を切る事ができるため、加工した場所とそうでない場所の境界がくっきりしている。図のピコ秒レーザーは、ナノ秒レーザーとフェムト秒レーザーの中間であるが、10〜数psではフェムト秒レーザーと同レベルの加工ができることが分かっている。ピコ秒レーザーは、フェムト秒レーザーと比べて安定であるため、現在注目されている。

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