レーザー微細加工装置は大まかに下記の6つのシステムで構成されている。
- レーザー光源
- 光路（光学系）
- 集光システム・スキャナ・アシストガス
- 駆動系（ステージ、ロール・トゥ・ロール、ロボットなど）
- 観察システム・位置合わせシステム
- 制御ソフトウェア
- 材料の吸引・排気システム
参照
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