レーザー微細加工装置は大まかに下記の6つのシステムで構成されている。

  1. レーザー光源
  2. 光路(光学系)
  3. 集光システム・スキャナ・アシストガス
  4. 駆動系(ステージ、ロール・トゥ・ロール、ロボットなど)
  5. 観察システム・位置合わせシステム
  6. 制御ソフトウェア
  7. 材料の吸引・排気システム

参照

レーザー加工機

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