レーザー微細加工装置は大まかに下記の6つのシステムで構成されている。
- レーザー光源
- 光路（光学系）
- 集光システム・スキャナ・アシストガス
- 駆動系（ステージ、ロール・トゥ・ロール、ロボットなど）
- 観察システム・位置合わせシステム
- 制御ソフトウェア
- 材料の吸引・排気システム
3D-Micromac社
ドイツの3D-Micromac社は上記全てのシステムを筐体内に納めた微細加工装置を製造・販売している。中でもmicroSTRUCT varioは、ピコ秒レーザーを搭載可能なレーザー加工機で、波長は1064 nmだけなく、SHG、THGの3波長に対応する。加工対象材料は金属、セラミック、ガラス、樹脂など多岐にわたり、微細穴あけ加工、微細マーキング、微細切断加工が可能である。直感的な操作と安全性に配慮された設計で、世界で最も高性能なレーザー微細加工装置である。
参照
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