微細加工レーザーを近紫外・遠紫外・超短パルスレーザーに分類し、応用加工例とともに表1にまとめた。
| 項目 | 媒質 | 発振波長 | 発振特性 | 応用加工 |
|---|---|---|---|---|
| 近紫外レーザー (可視光を含む) |
THG DPSS | 355 | 平均出力：中 パルス幅：数ns～数十ns |
マイクロ加工 微細穴加工 薄膜表層加工 |
| 4HG DPSS | 266 | |||
| SHG DPSS | 532 | |||
| 遠紫外レーザー | F2 | 157 | 平均出力：大 パルス幅：～数ns |
微細穴加工 大面積加工 リソグラフィー |
| ArF | 193 | |||
| KrF | 248 | |||
| XeCl | 308 | |||
| 超短パルスレーザー (ps,fs) |
(DPSS,Fiber) | 266～1064 | 平均出力：小 パルス幅：100fs～10数ps |
透明体内部加工 3D光導波路加工 高機能非熱加工 |
| Yb Fiber | 1060 | |||
| Er Fiber | 1560 | |||
| Ti:Sapphire | 780 |
参照
【参考製品】
