小塊欠陥(nodular defect)とは

薄膜を蒸着する場合，基板表面や薄膜中に付着した小塊(nodule)のことで，これは蒸着槽中を浮遊している塵埃，あるいは蒸着物質から飛散した小塊などが主な構成要素となっており，薄膜中に必ず存在する．小塊欠陥が照射するレーザー光の波長より大きいと散乱やレーザー損傷の原因となるので，蒸着槽をクリーンな環境にするととむに，蒸着法にも十分注意して小塊欠陥を可能な限り少なくすることが必要である．