レーザー微細加工装置は大まかに下記の6つのシステムで構成されている。

1. レーザー光源
2. 光路（光学系）
3. 集光システム・スキャナ・アシストガス
4. 駆動系（ステージ、ロール・トゥ・ロール、ロボットなど）
5. 観察システム・位置合わせシステム
6. 制御ソフトウェア
7. 材料の吸引・排気システム

参照

レーザー加工機
高精度ファイバーレーザー切断機