微細加工レーザーを近紫外・遠紫外・超短パルスレーザーに分類し、応用加工例とともに表1にまとめた。

表1:微細加工用レーザー
項目 媒質 発振波長 発振特性 応用加工
近紫外レーザー
(可視光を含む)
THG DPSS 355 平均出力:中
パルス幅:数ns~数十ns
マイクロ加工
微細穴加工
薄膜表層加工
4HG DPSS 266
SHG DPSS 532
遠紫外レーザー F2 157 平均出力:大
パルス幅:~数ns
微細穴加工
大面積加工
リソグラフィー
ArF 193
KrF 248
XeCl 308
超短パルスレーザー
(ps,fs)
(DPSS,Fiber) 266~1064 平均出力:小
パルス幅:100fs~10数ps
透明体内部加工
3D光導波路加工
高機能非熱加工
Yb Fiber 1060
Er Fiber 1560
Ti:Sapphire 780

参照

レーザー加工機
高精度ファイバーレーザー切断機