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UV・VUVレーザーとは? 波としての光、光波の特性を表すものに波長がある。波長は真空中で測定したものを基準としている。人間の目に見える光である可視光の波長範囲は400 – 700 nm である。これより長い波長の光を赤 more

短波長光はその短波長性から、半導体リソグラフィのような超微細加工用光源として用いられている。これまでKrF レーザー（248 nm）、ArF レーザー、F2 レーザー（157 nm）を用いるレーザーリソグラフィが精力的に more