深紫外/真空紫外レーザー(DUV/VUV laser)とは

可視光線の短波長端である紫(波長360~400 nm)より短い波長の光を紫外線というが，その中で200~300 nm程度の波長を深紫外光(deep ultra-violet:DUV)という．KrFエキシマレーザー(248 nm)ゃNd:YAGレーザーの第四高調法(266 nm)の光はこの波長帯に属する．さらに短い200 nm程度以下の波長の光は酸素の吸収によって大気中を伝搬できないため，真空紫外光(vacuum ultra-violet:VUV)という，ArFエキシマレーザーの波長(193 nm)はDUVとVUVの境界近辺にある．真空紫外レーザーとして最も一般的なものはF₂レーザー(157 nm)である．