放射光励起プロセス(synchrotron racliation stimulated process)とは

電子シンクロトロン抜射光に含まれる真空紫外光は物質との相互作用が強く,すべての原子,分子の電子状態を励起することができるため,多様な光化学反応を効率良く誘起することができる.この光化学反応を利用して,エッチング,膜形成,表面改質などをおこなう技術を放射光励起プロセスという.光の波長が短いことから高い空間分解能が得られること,プラズマプロセスと比較して,損傷が少ないことなどが特徴で,ナノメトルオーダーの加工(ナノプロセス)への応用が可能である.また,物質の内殻電子を励起することができるため,特有な材料選択性を示す反応や,分子の特定の結合を選択的に切断する反応,などを利用したユニークなプロセスが期待される.→SRアブレーション法